半自動臺階儀JS100B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。
半自動臺階儀JS1000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。
01雙攝像頭設(shè)計，既可清晰無變形的觀察樣品，又可實時監(jiān)測探針掃描狀態(tài)。
02花崗巖龍門架結(jié)構(gòu)，提供高剛性的支撐，保證測量穩(wěn)定性。
03光柵尺閉環(huán)反饋樣品臺，重復(fù)定位精度優(yōu)于5um。
04高精度微力傳感器與微動掃描器，提供高的測量精度和重復(fù)性。
05采用金剛石探頭，提供不同規(guī)格。
刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量
各式薄膜等應(yīng)力測量
3D掃描成像
計劃任務(wù)和多點掃描
XY電動/自動載物臺
R電動/自動載物臺
探針納米粗調(diào)細(xì)調(diào)臺
Z電動/自動載物臺
掃描臺
相機(jī)×2
| 技術(shù)參數(shù) | 說明 |
| 樣品 | 單片(厚度≤10mm) |
| 晶圓尺寸 | ≤150mm/200mm/300mm |
| 重復(fù)性測量偏差 | ≤0.5nm(1σ1um標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次) |
| 最大測量范圍 | 80um |
| 垂直分辨率 | 0.05nm滿量程 |
| 探針加力范圍 | 0.5~50mg |
| 力控制 | 恒定 |
| 采樣速度 | 200Hz |
| 最大掃描長度 | 55mm |
| 掃描方向 | 左右雙向 |
| 掃描最大采集點數(shù) | 200萬點 |
| 掃描速度 | 5um/s -100um/s |
| 樣品臺運動方式 | 可實現(xiàn)水平(XM),旋轉(zhuǎn)(RZ)電動控制 |
| XY行程 | >150mm/200mm/300mm |
| XY重復(fù)定位精度 | ±3um |
| Z行程 | 10mm |
| 樣品旋轉(zhuǎn)臺 | ±360°，0.01°分辨率 |
| 標(biāo)準(zhǔn)探針 | 曲率半徑>2um角度60°(標(biāo)配) |
| 亞微米探針 | 曲率半徑≤1um角度60°(選配) |
| 軟件功能 | 臺階、粗糙度等表面形貌測量，應(yīng)力測量和3D掃描成像 |
熱門關(guān)注
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