司特爾TARGETSYSTEM磨拋機(jī)

司特爾TARGETSYSTEM磨拋機(jī)簡介

√ 顯著縮減制備時間

√ 不受操作人員技能影響

√ 全面的再現(xiàn)性

√ 無需成本昂貴的磨料薄膜

TargetSystem 設(shè)計(jì)用于微電子組件和扁平化目標(biāo)制備。這是第一款失效分析工具，可對可見目標(biāo)和隱藏目標(biāo)進(jìn)行實(shí)時對齊和測量，例如微型穿孔和 BGA。系統(tǒng)精度高達(dá) +/- 5 μm。

司特爾TARGETSYSTEM磨拋機(jī)特色

較短的制備時間

智能制備系統(tǒng) (IPS) 可根據(jù)實(shí)際樣品屬性和研磨/拋光表面自動調(diào)整消除時間和速率。這意味著可將測量和制備時間縮減至 30 分鐘以內(nèi)。

再現(xiàn)性

自動化工藝使得 TargetSystem 不受操作人員技能的影響，無論何人操作都可確保再現(xiàn)性。

降低運(yùn)行成本

TargetSystem 可與任何 SiC 紙或其他耗材配合使用，無需成本昂貴的研磨薄片。

司特爾TARGETSYSTEM磨拋機(jī)型號

TargetMaster

適用于自動目標(biāo)制備的 200 mm 微型拋光機(jī)。適用于 30 mm 試樣并且包括 200 mm MD-Disc 的可翻轉(zhuǎn)夾具。

加液系統(tǒng)需要單獨(dú)訂購。

司特爾TARGETSYSTEM磨拋機(jī)技術(shù)參數(shù)