半導(dǎo)體行業(yè)一直以來都處于技術(shù)創(chuàng)新的前沿。在該行業(yè)中，涂膠機(jī)是光刻前道中一項(xiàng)至關(guān)重要的設(shè)備，它負(fù)責(zé)光刻膠的涂覆和顯影操作，為光刻機(jī)的后續(xù)曝光過程提供必要的輸入。而在光刻涂膠顯影設(shè)備技術(shù)中存在一個重要難題，即如何確保膠膜的涂覆均勻性。對于眾多的設(shè)備廠商和研究人員而言，精確供膠是實(shí)現(xiàn)膠膜厚度和均勻性高效控制的關(guān)鍵。因此，在涂膠工藝中，準(zhǔn)確地供應(yīng)膠液成為了一個備受關(guān)注的問題。
為了滿足高精度涂膠的要求，德國彗諾HNPM微量齒輪泵被設(shè)計用來穩(wěn)定供給光刻膠和丙酮等材料。該微量齒輪泵能夠?qū)崿F(xiàn)對供膠量、供膠速度等參數(shù)的精確控制，并與可編程控制器配合使用，以實(shí)現(xiàn)均勻涂覆的涂膠效果。通過利用回縮效應(yīng)，該技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)無滴注膠，從而提高涂膠的均勻性和產(chǎn)品的良品率。
德國彗諾HNPM微量齒輪泵以其出色的精確度和穩(wěn)定可靠性而著稱。在芯片涂膠機(jī)中，供膠泵扮演著至關(guān)重要的角色，用于輸送光刻膠、丙酮等液體。
傳統(tǒng)泵在處理高粘度或微量液體時的能力有限，并且由于控制精度不足而可能導(dǎo)致泄漏或輸送量過少的情況。而德國彗諾HNPM微量齒輪泵能夠高效快速地輸送廣泛粘度和具有腐蝕性的液體，確保光刻膠的準(zhǔn)確輸送，提高涂膠的質(zhì)量。該泵的結(jié)構(gòu)緊湊，體積小巧，適應(yīng)各種安裝環(huán)境，為涂膠機(jī)的設(shè)計帶來了極大的靈活性。
德國彗諾HNPM微量齒輪泵的兩個偏心輪在旋轉(zhuǎn)的時候通過擺線針輪嚙合，以保證在任何時候系統(tǒng)都有幾個密封的泵室，嚙合齒的尺寸比例大致為6/7，可產(chǎn)生6個密封的泵室。
德國彗諾HNPM微量齒輪泵的軸被連接到內(nèi)部轉(zhuǎn)子，由精確控制的電動馬達(dá)提供動力。外部轉(zhuǎn)子安裝可轉(zhuǎn)動的基座，并通過內(nèi)部轉(zhuǎn)子驅(qū)動。
隨著偏心軸轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動，進(jìn)料側(cè)的泵室空間增加，出料側(cè)的泵室空間減小，并且因此產(chǎn)生一個均相和低脈動流量，此時同時也會產(chǎn)生幾個相同的泵室，在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，泵的輸送方向是可逆的。
憑借其精確度、穩(wěn)定性、處理能力和靈活性，在半導(dǎo)體行業(yè)中涂膠工藝中發(fā)揮越來越重要的作用。它的先進(jìn)技術(shù)和可靠性能使得生產(chǎn)廠商和研究人員能夠更好地控制液體輸送過程，提高產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)效率和工藝穩(wěn)定性。
